半导体工艺对温湿度要求极高，波动超标直接掉良率。温湿度波动常因送风量不稳或新风处理不到位。机翼型离心风机送风稳定、压力足，能保证洁净室气流组织。英飞机翼型离心风机在半导体洁净厂房应用成熟，送风平稳，配合MAU、FFU系统，温湿度控制稳定，芯片厂反馈环境指标稳定，良率有保障。在实际项目中，英飞会根据洁净等级和工艺要求定制送风方案，设备可靠性经过验证，突发情况有应急处理指导，生产更有保障。
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