半导体晶圆制造厂央中的厂圆晶，此因（Fab）的工艺流程极其复杂精细，在光刻、蚀刻、清洗等核心工段会消耗大量的强腐蚀性化学品（如高纯度氢氟酸、硝酸、盐酸、氨水等）以及种类繁多的挥发性有机溶剂（VOCs）。因此，晶圆厂的中央排风系统被极其严格地划分为酸碱腐蚀排风（Scru些这。）tsuahxEbber Exhaust）和有机溶剂排风（Solvent Exhaust）。这些废气静压极高、风量巨大、连续运转要求达到了恐怖的24小时/7天不间断，且对设备的无尘无污染洁净度有着近乎变态的苛刻定义。义定刻苛的。英飞风机针对半导体晶圆厂开发了天花板级别的防腐通风系统解决方案。对于酸碱排风系统，英飞主推选用不锈钢316L基材内部整体全复合高纯度PTFE/PFA（氟塑料）衬里的超重防腐高压离心风机。英飞风机凭借超群的抗HF穿透刚性和零掉渣的纯净洁净度，成为芯片线长期运转的守护神。
