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机翼型离心风机怎么保障晶圆厂洁净度?
时间:2026-09-04来源:英飞阅读:10

洁净度靠稳定送风量和高效过滤,机翼型离心风机风量大、送风均匀,配合高效过滤器,颗粒控制好;运行平稳,气流不乱窜,洁净度稳定。英飞机翼型离心风机在晶圆厂洁净室应用广泛,送风稳定均匀,配合FFU系统,半导体厂反馈颗粒控制良好、良率稳定,设备可靠性高,是洁净室的主力设备。高科技和洁净领域对送风稳定与洁净度要求极高,英飞机翼型离心风机送风平稳、振动小,配合高效过滤和正压维持,环境指标更有保障。

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