电子行业除尘系统维护计划，按周期排：日常检查运行和压差；定期更换过滤器，按更换周期执行；定期检查密封和气流；定期测洁净度。计划落到人、落到时间。英飞提供电子行业除尘系统维护支持，协助制定计划。洁净度是维护出来的，维护计划执行到位，洁净度长期稳定。维护计划执行有记录，过滤器和密封检查到位。维护计划执行有记录，过滤密封检查到位。执行有记录，检查不落空。
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