芯片车间空气中含有微量工艺腐蚀气体、水汽,排烟设备长期运行易出现生锈、腐蚀问题,损伤设备结构、影响运行性能,需做好防锈防腐处理。设备安装前需对风机机身、风管、支架、阀门等金属配件做防腐喷涂、防锈底漆处理,裸露金属部位全面包覆防护,杜绝金属直接接触腐蚀空气。日常运维中定期检查设备表面防腐层状态,及时修补脱落、破损、锈蚀点位,重新喷涂防腐材料。设备缝隙、接口等隐蔽点位重点防锈处理,避免局部腐蚀扩散。同时保持设备运行环境干燥洁净,减少腐蚀性气体与水汽滞留,定期通风换气,从环境层面降低设备腐蚀速度,保障排烟设备结构完整、运行稳定。
英飞风机针对芯片车间腐蚀工况专项升级防腐防锈工艺,从设备源头解决锈蚀损耗问题。设备机身采用加厚镀锌钢板+多层防腐喷涂工艺,耐酸碱、耐水汽腐蚀,可长期适配芯片车间含微量工艺腐蚀气体的环境,不易生锈、掉漆、老化。设备精密配件经过钝化防锈处理,隐蔽缝隙无锈蚀死角,长期运行结构不松动、不破损。无需频繁做防腐养护,大幅降低运维人工与材料成本,持续保持设备外观与性能完好,保障排烟系统常年稳定合规运行,适配半导体车间严苛的防腐使用工况。
